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芯片加工少不了EDI超純水設備

2022-11-25

  無論多么先進龐大的設備,其數據信息都保存在小小的芯片上。芯片制造主要分為三大環節:晶圓加工制造、芯片前期加工、芯片后期封裝。其中技術難度大、核心的是芯片前期加工這個環節,分為上百道制程,每道制程都有相應的裝備。在這些裝備里面,技術難度大的就是光刻技術。

EDI超純水系統

  芯片加工過程中需要使用水進行處理,該水質的要求較高,不能含有任何離子雜質。半導體行業用超純水設備采用先進的制水技術,有效去除水中雜質,保證設備的出水水質。萊特萊德采用雙反+EDI+拋光混床組合工藝:反滲透系統利用反向滲透原理,主要除去水中溶解鹽類、有機物、膠體、大分子物質等。降低水質的離子含量。EDI是一種將離子交換膜技術和離子電遷移技術相結合的純水制造技術,無需酸堿再生,是一種新型的脫鹽方式。EDI無需再生化學品的再生,運行成本低,EDI超純水系統的自動化程度很高,連續工作,出水水質好且穩定,出水電阻率≥15MΩ·CM。拋光混床用于高純度的水處理系統中的終端精制器所設計,制造生產的半導體級混床離子交換樹脂,能夠將水中的離子含量降到PPB級別,出水電阻率可達18.2MΩ·CM。

  萊特萊德憑借多年項目經驗,根據客戶原水水質報告、現場實地工況,用水點日常需求,為客戶量身定制專屬工業電子超純水系統。萊特萊德憑借多年研發設計實力,在保證出水達標的同時,考量日常使用方便性、耗材更換方便性、擴建前瞻預判等細節,真正實現量身定制。

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